Вклад форвакуумного насоса в вакуумную систему
Во многих случаях максимальное давление вакуумной системы в основном связано с параметрами используемого высоковакуумного насоса. Но характеристики вакуумных систем определяются не только высоковакуумным насосом, но в значительной степени также и форвакуумным насосом, а также наладке всей насосной станции в целом.
Вакуумный насос или насосная станция откачивает поток газа, который испускается вакуумной системой. В случае вакуумного процесса, к которому добавляют технологические газы, пропускная способность определяется потоком технологического газа. Напротив, если вакуумная система должна достигать низкого конечного давления без технологического газа, то пропускная способность в основном определяется газом, испускаемым с внутренних поверхностей вакуумной системы.
Выбор подходящего форвакуумного насоса
Если для вакуумной станции подбирается форвакуумный насос, то в таком случае нужно учитывать, что форвакуумный насос должен создавать давление меньшее, чем максимально допустимое давление перед высоковакуумным насосом. Это предельное форвакуумное давление можно найти в техническом описании каждого высоковакуумного насоса, которое называется «forevacuum max.», «max. fore vacuum» или «fore pressure». В зависимости от типа конструкции и производителя насоса предельное форвакуумное давление может сильно отличаться. В частности, современные турбонасосы со ступенью Holweck могут работать при высоком давлении - более 20 мбар.
Таким образом, возможность выбора насоса из предлагаемых стандартных форвакуумных насосов практически не ограничен. Многие форвакуумные насосы, такие, как роторно-пластинчатые насосы с масляным уплотнением, компактные мембранные насосы или высокопроизводительные сухие насосы, могут создавать данное давление, откачивая с атмосферы.