Электронная микроскопия

Исследователи, инженеры, а также ученые зачастую встречаются с ситуацией, когда разрешающей возможности оптического микроскопа становится мало. К примеру, при работе с передовыми микрочипами, когда нужно исследовать компоненты, находящиеся на поверхности кремниевой пластинки, при исследовании микротрещин на поверхности металлов, образующихся уже после выполнения испытаний на прочность или в ходе исследования микропористых структур различных материалов.

Электронный микроскоп - это микроскоп, который использует пучок ускоренных электронов в качестве источника просветления. Поскольку длина волны электрона может быть до 100 000 раз короче, чем у фотонов видимого излучения, электронные микроскопы имеют более высокую разрешающую способность, чем оптические микроскопы, и могут выявлять структуру более мелких объектов. Сканирующий просвечивающий электронный микроскоп достиг наилучшего разрешения в 50 пм, в режиме темного поля с полезным увеличением в 10,000,000 раз, тогда как большинство оптических световых микроскопов ограничены дифракцией с разрешением около 200 нм и полезным увеличением меньше 2,000 раз.

Во основной массе случаев образцы, подлежащие изучению с помощью электронной микроскопии, должны наблюдаться под вакуумом, так как молекулы атмосферы станут рассеивать электроны. В целом возможно отметить, то что вакуумная система служит с целью увеличения длины свободного пробега электронов (снижая частоты столкновений электронов с атомами газа до незначительного уровня), а также предотвращения появления электрической дуги.